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QDR清洗机

南阳QDR清洗机

原理：在晶圆进行生产后利用DIW或者UPW对其进行表面清洗； 功能：补液、快排、鼓泡、溢流、喷淋、超声、家人；通过PLC进行人机交互，操作人员可以选择以上部分或者全部功能再对应设定生产时间，一键启动后全自动完成清洗制程；具有生产记录、报警、漏液报警等安全辅助功能；

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