专业周到的一站式服务

PROFESSIONAL AND THOUGHTFUL ONE-STOP SERVICE

专注于为芯片、光纤、光伏、新能源等光电行业客户提供湿法制程设备的设计和制造

紧跟半导体行业趋势

FOLLOWING TRENDS IN THE SEMICONDUCTOR INDUSTRY

引进先进设备，提高管理水平，降低生产成本

湿法制程设备的设计和制造

DESIGN AND MANUFACTURING OF WET PROCESS EQUIPMENT

专注服务于为芯片、光纤、光伏、新能源等光电行业

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推荐产品

晶圆清洗机

设备用途：用于晶圆表面的金属粒子、有机物等各类颗粒的清洗；核心原理：利用有机溶剂对有机残留物进行溶解、漂洗；利用各类无机酸对金属残留进行反应、漂洗；

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IPA DRY马兰格尼干燥柜

IPA DRY马兰格尼干燥柜利用了硅片表面张力的梯度变化原理，以达到使晶圆干燥的目的。先用流动的去离子水在晶圆外表面产生很薄的一层水膜，之后再通入大量的异丙醇气体把晶圆上的水层去掉，从而使硅片干燥。这种工艺重中之重是要控制去离子水层和异丙醇气体层在硅片表面移动的快慢。目前半导体工厂里常用的移动速度是1-1.5mm/s，现在还有一种好的方法是增加去离子水兆省喷头并且控制移动速度在0.3-2.5mm/s，这种方式一般用于高端的单片腐蚀清洗上。

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化学镀金机

设备用途：2、3、4寸晶圆镀金，适用于芯片生产客户；核心原理：在晶圆清洗后利用预处理液/镀金液/DIW/王水对其进行四步镀金工艺；

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自动供液柜（CDS）

设备用途：类湿法生产设备的药业供给；核心原理：对主机台( 需求设备 )进行通讯，当主机台需要药液自动开启隔膜泵、阀进行供液到指定需求量；设备功能：PLC人机交互，多工位循环供液、空桶报警、漏液报；内部PFA、C-PVC管路可满足各类酸碱药业的供给，如:氢氟酸、显影液等。

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超高精度恒温水浴槽

恒温水浴槽是一款高端定制设备，设备整体为耐腐蚀酸碱的PP板材制作，更加洁净，适合洁净实验室内使用，温度控制系统为高精度温度控制仪，可实现高达±0.5℃精度范围稳定控制，设备具有高稳定性，可以很好保证其中流体动态保持稳定性，设备带有万向轮，可实现自由移动。

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石英棒自动清洗机（石英管）

设备用途：用于光纤行业的预制棒清洗；核心原理：利用HF与石英的化学反应，蚀刻掉石英棒等工件含有杂质的表层，使其表面质量、纯净度、尺寸等达到后续生产需求；设备功能：自动供液、自动混液、药液加热、药液保温、碱水中、纯水漂洗等；控制方式：利用PLC+触控屏进行人机交互，可编辑多个工艺表；选定工艺表后可自动完成清洗程序。

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晶圆清洗机

IPA DRY马兰格尼干燥柜

化学镀金机

自动供液柜（CDS）

超高精度恒温水浴槽

石英棒自动清洗机（石英管）

业务范围 BUSINESS SCOPE

半导体清洗机等湿法制程设备的设计、制造、安装、调试: 半导体清洗机等湿法制程设备的设计、制造、安装、调试

化学刻蚀设备的设计、制造、安装、调试: 化学刻蚀设备的设计、制造、安装、调试

CDS自动供液系统设计、制造、安装、调试: CDS自动供液系统设计、制造、安装、调试

洁净防腐蚀抽风柜、工作台等制造、安装、调试: 洁净防腐蚀抽风柜、工作台等制造、安装、调试

超纯PVDF PFA等管路设计、施工及设备二次配: 超纯PVDF PFA等管路设计、施工及设备二次配

INDUSTRIAL DEVELOPMENT

优势实力

一站式服务

给客户提供专业周到的一站式服务,包括研发设计、生产、现场安装以及售后服务。

产品应用广泛

应用于微电子、光伏、光通信、LED、医疗制药等行业及高等院校、实验室、研究所等。

施工安装、安全可靠

品质证明一切！服务赢得尊重！精良的产品质量是我们的根本，真诚守信是我们的原则

服务周到、热情高效

精诚协作的团队精神，日臻完善的售后服务是公司赢得客户信赖的根本保证

武汉百臻半导体科技有限公司

WUHAN BAIZHEN SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO. , LTD.

武汉百臻半导体科技公司成立于2017年，座落于武汉新城东湖高新智慧城三期10号楼。公司专注于为芯片、光纤、光伏、新能源等光电行业客户提供湿法制程设备的设计和制造，如晶圆湿法清洗系统，刻蚀系统, CDS集中供、配药系统,光纤石英管清洗系统,化学清洗平台系统以及半导体超纯水系统等。我们致力于给客户提供专业周到的一站式服务,包括研发设计、生产、现场安装以及售后服务。