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德阳晶圆清洗机
设备用途:用于晶圆表面的金属粒子、有机物等各类颗粒的清洗; 核心原理:利用有机溶剂对有机残留物进行溶解、漂洗; 利用各类无机酸对金属残留进行反应、漂洗;
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