产品中心
联系方式
晶圆清洗机
所属分类：
设备用途：用于晶圆表面的金属粒子、有机物等各类颗粒的清洗； 核心原理：利用有机溶剂对有机残留物进行溶解、漂洗； 利用各类无机酸对金属残留进行反应、漂洗；
联系电话：
产品详情
设备用途：用于晶圆表面的金属粒子、有机物等各类颗粒的清洗；
核心原理：利用有机溶剂对有机残留物进行溶解、漂洗；利用各类无机酸对金属残留进行反应、漂洗；
设备功能：自动补液、在线加热、自动漂洗、自动烘干；
控制方式：利用PLC+触控屏进行人机交互，可编辑多个工艺表；选定工艺表后可自动完成清洗程序。
留言咨询