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内江全自动晶圆清洗机
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产品描述
设备用途:用于晶圆表面的金属粒子、有机物等各类颗粒的清洗;
核心原理:利用有机溶剂对有机残留物进行溶解、漂洗;利用各类无机酸对金属残留进行反应、漂洗;
设备功能:自动补液、在线加热、自动漂洗、自动烘干;
控制方式:利用PLC+触控屏进行人机交互,可编辑多个工艺表;选定工艺表后可自动完成清洗程序。
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