吉安QDR清洗机

原理:在晶圆进行生产后利用DIW或者UPW对其进行表面清洗; 功能:补液、快排、鼓泡、溢流、喷淋、超声、家人;通过PLC进行人机交互,操作人员可以选择以上部分或者全部功能再对应设定生产时间,一键启动后全自动完成清洗制程;具有生产记录、报警、漏液报警等安全辅助功能;

类别:

吉安QDR清洗机

产品描述

名称:QDR清洗机

型号:BZ-D200

应用:2寸-12寸晶圆清洗,适用于芯片生产客户;

原理:在晶圆进行生产后利用DIW或者UPW对其进行表面清洗;

功能:补液、快排、鼓泡、溢流、喷淋、超声、家人;通过PLC进行人机交互,操作人员可以选择以上部分或者全部功能再对应设定生产时间,一键启动后全自动完成清洗制程;具有生产记录、报警、漏液报警等安全辅助功能;