大同晶圆清洗机
设备用途：用于晶圆表面的金属粒子、有机物等各类颗粒的清洗；
核心原理：利用有机溶剂对有机残留物进行溶解、漂洗； 利用各类无机酸对金属残留进行反应、漂洗；
类别：
大同全自动晶圆清洗机
类别：
大同全自动晶圆清洗机