宝鸡IPA DRY马兰格尼干燥柜
IPA DRY马兰格尼干燥柜利用了硅片表面张力的梯度变化原理，以达到使晶圆干燥的目的。先用流动的去离子水在晶圆外表面产生很薄的一层水膜，之后再通入大量的异丙醇气体把晶圆上的水层去掉，从而使硅片干燥。这种工艺重中之重是要控制去离子水层和异丙醇气体层在硅片表面移动的快慢。目前半导体工厂里常用的移动速度是1-1.5mm/s，现在还有一种好的方法是增加去离子水兆省喷头并且控制移动速度在0.3-2.5mm/s，这种方式一般用于高端的单片腐蚀清洗上。
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